特許

J-GLOBAL ID：200903091969424291

距離測定方法及び距離測定装置

発明者： 関根 明彦
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002353
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201829
出願日： 1993年01月11日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 被測定面に微振動等の移動変位がある場合でも正確に距離を測定することのできる距離測定方法及び距離測定装置を提供すること。【構成】 基準発振波長が互いに異なるコヒーレント光を被測定面3に同時に照射するための光源部1と、参照面M4を有しかつ参照面M4からの反射光と被測定面M3からの反射光とを各基準発振波長ごとに干渉させる測定光学系3と、測定光学系3に各基準発振波長に対応させて設けられて被測定面M3からの反射光とこれに対応する参照面M4からの参照反射光とを各基準発振波長ごとに干渉させることにより得られた干渉縞の強度を光電変換する受光器PD3、PD4とを備え、各基準発振波長を微小範囲で同時に変化させた時の各基準発振波長ごとの受光器PD3、PD4により得られる干渉縞に対応する信号の位相変化量に基づき、参照面M4から被測定面M3までの光路差を測定して被測定面M3までの距離を算出する。

請求項（抜粋）：

基準発振波長が互いに異なるコヒーレント光を同時に被測定面に照射し、前記被測定面からの反射光とこれに対応する参照面からの参照反射光とを各基準発振波長ごとに干渉させ、干渉縞の強度を各基準発振波長に対応する受光器により光電変換し、前記参照面から前記被測定面までの光路長差に基づく位相を各基準発振波長について観測しつつ、前記各基準発振波長を微小範囲で同時に変化させた時の各基準発振波長ごとの干渉縞の位相変化量に基づき、前記参照面から前記被測定面までの光路差を測定して被測定面までの距離を算出することを特徴とする距離測定方法。