特許
J-GLOBAL ID：200903091971700735
レーザ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049642
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265790
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の物性や組成等の二次元的な分布解析を行ない得るレーザ顕微鏡を提供する。【構成】 試料に対してレーザ光を照射し、その反射光2bを光電子増倍管50により受光して増幅することによって試料の拡大画像を得る。光電子増倍管の前段にミラー装置51を設置し、そのミラー装置により反射光を必要に応じてラマン分光器53に導く。ラマン分光器は反射光中のラマン散乱光のスペクトル分析を行ない、それに基づき試料表面の分布解析を行なう。
請求項（抜粋）：
試料に対してレーザ光を照射し、その反射光を光電子増倍管により受光して増幅することによって試料の拡大画像を得る構成のレーザ顕微鏡であって、試料からの反射光中に混在している種々の波長のラマン散乱光を検出するためのラマン分光器を備えるとともに、試料からの反射光をそのラマン分光器もしくは前記光電子増倍管のいずれかに選択的に導くためのミラー装置を具備してなることを特徴とするレーザ顕微鏡。
IPC (4件)：
G02B 21/00
, G01B 11/24
, G01N 21/65
, G02B 26/08
