特許

J-GLOBAL ID：200903091985310700

基板搬送機構

発明者： 菅谷 昌和 ,  金友 正文 ,  山本 立春 ,  松村 泰秀 ,  原田 邦男 ,  鹿島 秀夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-337950
公開番号（公開出願番号）：特開平10-175734
出願日： 1996年12月18日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】基板搬送において基板搭載時及び基板搬送時にブレード上の基板の有無及び姿勢のずれを検出する機構を提供する。【解決手段】基板搬送ロボットに取り付けられた基板を搭載するブレード2上に、発光部と受光部を備えた反射型光センサ3と反射型光センサ3から発光されるレーザ光を反射する任意の角度を有するミラー4を配置する。

請求項（抜粋）：

基板搬送を目的とする基板搬送ロボットにおいて、基板搬送ロボットの先端に取り付けられた基板を搭載する部位に、反射型光センサと上記反射型光センサから発光される光を上記反射型光センサの受光部に反射させるためのミラーを搭載したことを特徴とする基板搬送機構。

IPC (3件)：

B65G 49/07 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 49/07 E ,  B25J 15/06 N ,  H01L 21/68 A