特許
J-GLOBAL ID：200903091987808188
洗浄用機能水製造方法及びこれを用いた機能水製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
赤塚 賢次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-032254
公開番号（公開出願番号）：特開平11-216468
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 純水又は還元性水に、極めて簡易で且つ低コストの手段で、メインラインの圧力変動や流量変動の影響をうけず、常に、一定の微量アルカリ濃度を注入することができる洗浄用の機能水製造方法及びこれを用いる製造装置を提供すること。【解決手段】 純水製造装置1から供給される純水を、水素ガス溶解槽2、アンモニウムイオン型を含む強酸性陽イオン交換樹脂と、水酸化物イオン型の強塩基性陰イオン交換樹脂を混合したpH調整用イオン交換樹脂カートリッジ3に順次供給することにより、電子部品製造における基板洗浄などに有用なアルカリ還元性の機能水が得られる。
請求項（抜粋）：
純水を、水素ガス溶解工程、イオン交換樹脂との接触によるアルカリイオン又はアンモニウムイオン溶解工程に、この順序又はこの逆の順序で順次供給することを特徴とする洗浄用機能水製造方法。
IPC (4件)：
C02F 1/42
, B01J 23/40
, B01J 47/04
, C02F 1/70
C02F 1/42 A
, C02F 1/42 B
, B01J 23/40 M
, B01J 47/04 A
, C02F 1/70 Z
