走査型プローブ顕微鏡の光軸調整機構

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-198035
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019093
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【目的】光てこ式光学検出系を備える走査型プローブ顕微鏡において光てこ式光学検出系の光軸調整作業の自動化を容易にする。【構成】カンチレバー16と、レーザ光源23からレーザ光29を第1ミラー24でカンチレバーへ導いて照射させ、カンチレバーから反射されたレーザ光を第2ミラー25で4分割光検出器26へ導いて入射するように構成された光てこ式光学検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡に適用され、第1ミラーの反射方向を変えるあおり機構27と、第2ミラーの反射方向を変えるあおり機構28と、カンチレバーに光軸調整用振動を与える加振用圧電部15と、4分割光検出器から出力される検出信号に基づいて上記あおり機構の動作を制御する演算制御装置18とから構成される。カンチレバーに光軸調整用振動を生じさせることにより光検出器の受光面と重なるレーザ光拡大照射領域を形成する。演算制御装置は検出信号に基づきあおり機構を制御して光てこ式光学検出系の光軸調整を自動的に行う。

請求項（抜粋）：

試料に対向するように配置される探針を備えたカンチレバーと、レーザ光源からレーザ光を第1反射器で前記カンチレバーへ導いて照射させ、前記カンチレバーから反射されたレーザ光を第2反射器で光検出器へ導いて入射するように構成された光てこ式光学検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡において、前記第1反射器の反射方向を変える第1調整部と、前記第2反射器の反射方向を変える第2調整部と、前記カンチレバーに光軸調整用振動を与える加振部と、前記光検出器から出力される検出信号に基づいて前記第1調整部と前記第2調整部の動作を制御する制御手段とを備え、前記加振部で前記カンチレバーに光軸調整用振動を生じさせることにより前記光検出器の受光面と重なるレーザ光拡大照射領域を形成し、前記制御手段は前記光検出器の前記検出信号に基づき前記第1調整部と前記第2調整部の動作を制御して前記光てこ式光学検出系の光軸調整を自動的に行うことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の光軸調整機構。

IPC (5件)：

G01N 13/16 , G01B 11/30 , G01B 21/30 , G02B 26/10 , H01S 3/00

FI (5件)：

G01N 37/00 G , G01B 11/30 Z , G01B 21/30 Z , G02B 26/10 A , H01S 3/00 F

Fターム (26件)：

2F065AA03 , 2F065CC21 , 2F065DD00 , 2F065FF23 , 2F065FF28 , 2F065GG04 , 2F065GG12 , 2F065HH04 , 2F065JJ01 , 2F065JJ22 , 2F065LL12 , 2F065PP24 , 2F069AA03 , 2F069BB40 , 2F069DD16 , 2F069GG07 , 2F069GG11 , 2F069GG65 , 2H045AB01 , 2H045DA02 , 2H045DA04 , 2H045DA31 , 5F072AB13 , 5F072KK05 , 5F072RR01 , 5F072YY11

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