特許

J-GLOBAL ID：200903092010555970

レジスト感度の評価方法及びレジストの製造方法

発明者： 塩原 英志 ,  早崎 圭 ,  藤澤 忠仁 ,  伊藤 信一
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-155262
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354906
出願日： 2003年05月30日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】高精度なレジスト感度の評価方法を提供する。【解決手段】検査対象レジスト膜に露光装置により検査露光量で露光量モニタマークを露光するステップと、検査対象レジスト膜に転写された露光量モニタマークの検査転写像から露光量により変動する検査特徴量を測定するステップと、検査特徴量から感度校正データを用いて検査対象レジスト膜の検査レジスト感度を算出するステップとを含む。【選択図】 図11

請求項（抜粋）：

検査対象レジスト膜に露光装置により検査露光量で露光量モニタマークを露光するステップと、 前記検査対象レジスト膜に転写された前記露光量モニタマークの検査転写像から露光量により変動する検査特徴量を測定するステップと、 前記検査特徴量から感度校正データを用いて前記検査対象レジスト膜の検査レジスト感度を算出するステップ とを含むことを特徴とするレジスト感度の評価方法。

IPC (3件)：

G03F7/26 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/26 501 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 514E

Fターム (10件)：

2H096AA25 ,  2H096BA01 ,  2H096BA09 ,  2H096DA10 ,  2H096LA16 ,  2H096LA30 ,  5F046AA18 ,  5F046BA04 ,  5F046DA02 ,  5F046DB05