特許
J-GLOBAL ID：200903092014574724
カラーフイルタ用ブラツクマスク
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289577
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127014
出願日： 1991年11月06日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 液晶表示パネル等に利用されるカラーフィルタのブラックマスクに関し、パターンの高精度化等を目的とする。【構成】 ガラス基板2のカラーフィルタ用ブラックマスク21,22 が、金属クロム層21b,22a と酸化金属クロム層21a,22b の2層構成、またはタンタルと酸化タンタルの2層構成、またはアルミニウムと酸化アルミニウムの2層構成とする。ガラス基板2のカラーフィルタ用ブラックマスク23が、金属クロム層23b をその厚さ方向に一対の酸化金属クロム層23a,23c で挟んだ3層構成、またはタンタル層をその厚さ方向に一対の酸化タンタル層で挟んだ3層構成、またはアルミニウム層をその厚さ方向に一対の酸化アルミニウム層で挟んだ3層構成とする。ガラス基板2のカラーフィルタ用ブラックマスク24が、金属クロム膜またはタンタル膜またはアルミニウム膜の不要部を除去したのち、該除去に伴う露呈面に酸化処理を施して形成させる。
請求項（抜粋）：
多数の色画素(4R,4GP4B)間に対応する如くガラス基板(2) に形成したブラックマスク(21,22) が、金属クロム層(21b,22a) と酸化金属クロム層(21a,22b) の2層構成、またはタンタルと酸化タンタルの2層構成、またはアルミニウムと酸化アルミニウムの2層構成であることを特徴とするカラーフィルタ用ブラックマスク。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
