特許

J-GLOBAL ID：200903092033703489

高精度表面形状測定方法及び装置

発明者： 後藤 崇之 ,  三井 公之
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社 ,  三井 公之
代理人 (2件)： 高橋 昌久 (外1名) ,  高橋 昌久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-267810
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089550
出願日： 1995年09月21日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 本発明は数ナノメートルの高精度分解能を有し、且つ、高さ方向の測定範囲が数十μm以上と大きな高精度表面形状測定の発明の提供。【解決手段】 大移動量で且つ移動分解能の低い(特に応答速度の遅い)粗動機構3と、小移動量で且つ移動分解能の高い(特に応答速度の早い)微動機構2から成る探針1の駆動機構と、前記探針により検出された前記物理量と物理量を一定に保つ為の目標値との差から成る信号を前記粗動機構及び前記微動機構に入力し、粗動機構と微動機構をほぼ同時に協調して制御することで、微動機構の変位量が常にほぼ一定となるように粗動機構を作動させる制御手段17/18と、前記微動機構及び前記粗動機構の変位を検出する変位検出手段8/9とを具えてなる高精度表面形状測定装置を提案する。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面と探針との距離を、トンネル電流、静電容量、原子間力、光学的変化、音響的変化、力学的変化その他の物理量として検出し、前記探針あるいは前記被測定物を被測定物表面の面内方向に移動させ、かつ、前記物理量が一定値となるように前記探針を前記被測定物表面の面外方向に移動させる為の駆動機構の変位を検出する事によって、前記被測定物表面の形状を測定する高精度表面形状測定方法において、前記駆動機構を、相対的に大移動量で且つ移動分解能の低い粗動機構と、相対的に小移動量で且つ移動分解能の高い微動機構とを用い、前記探針により検出された前記物理量と物理量を一定に保つための目標値との差から成る信号を前記粗動機構及び前記微動機構に入力し、粗動機構と微動機構をほぼ同時に制御することにより、微動機構の変位量がほぼ一定となるように粗動機構を作動させるようにしたことを特徴とする高精度表面形状測定方法。

IPC (4件)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/00 ,  G01B 7/34 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

G01B 21/30 Z ,  G01B 7/00 K ,  G01B 7/34 Z ,  H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-318404
  
• 特開昭60-146650
  
• 特開平2-005339
  
• 特開平4-368676