ミラー駆動型スキャナ及びレーザセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹本松司 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027883
公開番号（公開出願番号）：特開平11-212013
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】構造簡素で小型化が容易なミラー駆動型スキャナ及びレーザセンサ。【解決手段】レーザセンサ3がコントローラ30から動作指令を受けると、レーザ駆動部22はレーザ発振器11を駆動し、レーザビーム5を発生させる。これと並行して、ミラー駆動部21から供給される交流駆動電圧により、反射ミラー12を駆動するアクチュエータに振動が惹起される。アクチュエータの振動は、直接的に、あるいは、棒状部材、自転部材、クランク機構等を用いて間接的に反射ミラー12の搖動運動に転化され、それに応じてレーザビーム5による対象物面Gの走査が行なわれる。対象物面G上の反射点Sで拡散反射されたレーザビームは、光学系14により受光素子15の受光面上に結像する。受光面上の結像位置は反射点Sの位置に応じて変化する。結像位置とレーザビーム5の方向から、三角測量の原理によって反射点Sの3次元位置が求められる。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源から出射された光ビームを反射する反射ミラーと、前記反射ミラーを駆動する反射ミラー駆動手段を備えたミラー駆動型スキャナにおいて、前記反射ミラー駆動手段は、少なくとも一つの圧電素子を含むアクチュエータ手段と、前記アクチュエータに駆動電圧を供給して前記アクチュエータを振動させる手段を備え、前記アクチュエータの振動により前記反射ミラーが搖動し、光ビームスキャンニングが行なわれるようになっている、前記ミラー駆動型スキャナ。

IPC (3件)：

G02B 26/10 101 , G01B 11/00 , G01C 3/06

FI (3件)：

G02B 26/10 101 , G01B 11/00 B , G01C 3/06 A

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