特許
J-GLOBAL ID：200903092038030032
マイクロレンズアレー用金型の製造方法及びマイクロレンズアレー用原盤
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-256823
公開番号（公開出願番号）：特開平9-076245
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：
【要約】【課題】 従来のドライエッチング法及びウエットエッチング法を用いるマイクロレンズアレー用金型の製造方法は、長時間のエッチング時間が必要であり、また、大面積に渡り均一なパターンを形成することが困難であった。【解決手段】 基板上に光吸収材を含有させた形状記憶樹脂膜を形成し樹脂原盤を得る工程と、前記樹脂原盤に光ビームを選択的に照射し、前記形状記憶樹脂膜の表面に半球状のパターンを形成する工程と、前記パターンが形成された表面に金属を電鋳することによって前記パターンを転写した金型を得る工程とから成ることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板上に光吸収材を含有させた形状記憶樹脂膜を形成し樹脂原盤を得る工程と、前記樹脂原盤に光ビームを選択的に照射し前記形状記憶樹脂膜の表面に半球状のパターンを形成する工程と、前記パターンが形成された表面に金属を成膜することによって前記パターンを転写した金型を得る工程とから成ることを特徴とするマイクロレンズアレー用金型の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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