特許
J-GLOBAL ID：200903092038202569
マルチプローブヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173331
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020311
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 走査型電子顕微鏡の原理を利用した記録再生装置に使用されるマルチプローブヘッドであって、読み出し/書き込み回路をプローブ電極と同一基板上に形成でき、かつ、プローブ電極からの信号を高いS/N比で読み出すことのできるものを提供する。【構成】 プローブ電極Pi,jをトランジスタTRi,jのベースに接続し、プローブ電極Pi,jにバイアス電圧を印加するためのアナログスイッチSBi,jを設ける。さらにトランジスタTRi,jのエミッタ側にアナログスイッチSAi,jを設ける。トランジスタTRi,jのベース容量に蓄えられた電荷のトンネル電流による流出をトランジスタTRi,jからなるエミッタフォロワ回路で検出することにより、プローブ電極Pi,jからの信号の読み出しを行なう。
請求項（抜粋）：
記録媒体から少なくともデータの再生を行なう複数のプローブ電極を有するマルチプローブヘッドであって、前記各プローブ電極ごとに設けられた能動素子と、前記各プローブ電極のうちの任意のプローブ電極を選択するためのスイッチ素子とを有し、前記プローブ電極と前記能動素子と前記スイッチ素子とが同一基板上に形成されているマルチプローブヘッド。
IPC (2件)：
引用特許：
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