特許

J-GLOBAL ID：200903092045792932

プロービング装置

発明者： 大楽 守 ,  浅川 忠隆 ,  志賀 勝美 ,  向井 栄治 ,  佐々木 雄一 ,  三浦 昭浩
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-184745
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050163
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【構成】 プローブと、プローブ位置合わせ装置と、プローブ位置合わせ制御装置と、CADと、波形測定装置と、波形データ収集装置と、視覚センサーと、画像データ処理装置と、圧力センサーと、圧力データ処理装置と、CADによる回路基板の配置配線設計データからプローブ位置合わせ制御用データへ変換する一括自動変換処理手段、又はCADによる回路基板の配置配線設計データ上で波形測定対象の信号配線又はパッドを選択したデータのみをプローブ位置合わせ制御用データへリアルタイムに変換する自動変換処理手段と、を備えたものである。【効果】 プロービング精度が向上する効果や、プローブおよびパッドの破損防止する効果がある。

請求項（抜粋）：

下記の(a)〜(g)を備えたプロービング装置。(a)回路基板に搭載する電子部品の波形を測定するため、前記回路基板と電子部品の接触部であるパッドへ接触可能なプローブと、(b)プローブを把持し、三次元動作可能なプローブ位置合わせ装置と、(c)プローブ位置合わせ装置を制御するプローブ位置合わせ制御装置と、(d)プローブ位置合わせ制御装置とデータインターフェースを有し、回路基板の配置配線設計データを有するCADと、(e)プローブに接続され、波形を表示する波形測定装置と、(f)波形測定装置に接続され、波形測定データを処理する波形データ収集装置と、(g)CADによる回路基板の配置配線設計データからプローブ位置合わせ制御用データへ変換する一括自動変換処理手段と、

IPC (5件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/00 ,  H01L 21/66 ,  G06F 17/50

FI (2件)：

G01R 31/28 K ,  G06F 15/60 652 K