特許

J-GLOBAL ID：200903092046154948

センサ素子電極形成方法

発明者： 磯村 浩 ,  伊藤 征親 ,  水谷 昭夫 ,  早川 暢博
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323289
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160275
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 安定した品質の電極を備えたセンサ素子を大量生産できるセンサ素子電極形成方法を提供する。【解決手段】 センサ素子用として所定形状に成形された固体電解質体上に無電解メッキにより白金電極を形成する際に、テトラアンミン白金(II)錯体溶液をメッキ液とし、この白金(II)錯体を還元させるヒドラジンを還元剤として作用させる。白金(II)錯体は4配位平面構造であるため、6配位8面体構造である白金(IV)錯体に比べて、高純度品を得やすいため不純物の影響によりメッキ析出速度が変化せず、白金薄膜の膜厚がほぼ均一化される。また、還元工程も2価白金の方が4価白金に比べて簡素であるため、還元反応時に不純物が副生することもない。

請求項（抜粋）：

センサ素子用として所定形状に成形された固体電解質体上に無電解メッキにより白金電極を形成するセンサ素子電極形成方法において、前記無電解メッキは、白金(II)錯体溶液をメッキ液とし、この白金(II)錯体を還元させる還元剤を作用させて行うことを特徴とするセンサ素子電極形成方法。

IPC (2件)：

G01N 27/409 ,  C23C 18/44

FI (2件)：

G01N 27/58 B ,  C23C 18/44

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 酸素センサ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-294387   出願人：日本碍子株式会社
• 特開昭54-133399
  
• 特開昭54-127389
  

審査官引用 (3件)

• 酸素センサ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-294387   出願人：日本碍子株式会社
• 特開昭54-133399
  
• 特開昭54-127389