特許

J-GLOBAL ID：200903092048725993

ハレーション止め組成物

発明者： ジエイムズ・ダブリユ・サツカリー ,  ジヨージ・ダブリユ・オースラ
出願人/特許権者： シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-328816
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118631
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【構成】 ハレーション止め組成物と、フォトレジストがその組成物上に被覆された前記ハレーション止め組成物の露光放射の反射を低減させるための方法。該ハレーション止め組成物は、樹脂バインダーと、前記樹脂バインダーとの熱活性化架橋反応を引き起こすことが可能な材料を含む。【効果】 入射露光放射と反射露光放射を著しく吸収し、且つ、定在波の著しい減衰をもたらす。

請求項（抜粋）：

上塗りフォトレジスト層と架橋させられる被覆層を形成することが可能なハレーション止め組成物であって、前記組成物が、樹脂バインダーと、前記樹脂バインダーとの熱活性化架橋反応を引き起こすことが可能な架橋剤化合物を含む前記組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 506 ,  G03F 7/004 515 ,  G03F 7/11 503 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-110447
  
• 特開昭64-061441