特許
J-GLOBAL ID：200903092048856613
除電特性評価装置およびそれに用いる評価基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-097106
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292220
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】【目的】 液晶表示素子や半導体素子などの製造ラインに設けられた除電装置の性能評価を実ラインで実際の製造部品の場合と同様に性能評価をすることができる除電特性評価装置およびそれに用いる評価基板を提供する。【構成】 誘電体基板2の一方の面に電荷が帯電される帯電電極3が設けられ、他方の面にアースに接続される接地電極4が設けられた除電特性評価用の評価基板1と、該評価基板の前記帯電電極に電荷を帯電させるための高電圧電源8と、該高電圧電源により帯電された前記帯電電極の表面電位を計測する表面電位計9とからなっている。
請求項（抜粋）：
誘電体基板の一方の面に電荷が帯電される帯電電極が設けられ他方の面にアースに接続される接地電極が設けられた除電特性評価用の評価基板と、該評価基板の前記帯電電極に電荷を帯電させるための高電圧電源と、該高電圧電源により帯電された前記帯電電極の表面電位を計測する表面電位計とからなる除電特性評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/00
, G01R 29/24 G
