シャドウマスクの処理方法および処理装置ならびにシャドウマスク用素材

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112404
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306505
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】窒化ボロンのSM表面での生成を抑制することで、SMの黒化処理時における黒化ムラの発生を抑制し、SMの生産性を向上させることが可能なSMの処理方法および処理装置ならびにSM材を提供する。【解決手段】帯状金属薄板からなるSM材Wは、整面処理部10、酸処理部20、中和処理部30、コーティング処理部40の順に搬送されつつ整面処理およびコーティング処理が施される。酸処理部20において、SM材Wは、その表面が露出した状態で、酸性処理液23の酸化作用と電解装置Dの陽極酸化作用とを同時に施されるため、SM材Wの表面に厚い酸化膜が形成される。

請求項（抜粋）：

帯状金属薄板からなるシャドウマスク用素材を脱脂し水洗して、シャドウマスク用素材の表面を整面処理する整面処理工程と、この整面処理工程により整面処理されたシャドウマスク用素材を酸性処理液中に浸漬させて、シャドウマスク用素材の表面を酸処理する酸処理工程と、この酸処理工程により酸処理されたシャドウマスク用素材をレジスト液中に浸漬させて、シャドウマスク用素材の表面にレジスト膜を形成するコーティング処理工程と、を備えることを特徴とするシャドウマスクの処理方法。

IPC (5件)：

H01J 9/14 , C22C 38/00 301 , C22C 38/00 302 , C23C 22/50 , C25D 11/34 301

FI (6件)：

H01J 9/14 G , H01J 9/14 H , C22C 38/00 301 Z , C22C 38/00 302 R , C23C 22/50 , C25D 11/34 301

Fターム (16件)：

4K026AA02 , 4K026AA22 , 4K026BA08 , 4K026BB01 , 4K026CA13 , 4K026CA22 , 4K026CA26 , 4K026CA32 , 4K026CA33 , 4K026DA01 , 4K026DA03 , 4K026DA12 , 4K026EB02 , 4K026EB11 , 5C027HH01 , 5C027HH30

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