表面エネルギー分布測定装置及び測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-021661
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273986
出願日： 1997年02月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】表面エネルギーの面内分布を定量化する装置を実現することにより、半導体デバイスや液晶ディスプレイの製造プロセスにおけるプロセス条件を最適化し、安定した歩留まりを確保する。【解決手段】表面エネルギー分布測定装置及び測定方法においては、被検基板を水面中に挿入し、被検基板と水面との接触部に生じるメニスカスの状態を代表するパラメータを水面に沿って測定する。この測定を、被検基板を下降または上昇させながら行うことにより、上記パラメータを被検面の全面に亘って測定し、被検面の表面エネルギーの面内分布を算出する。

請求項（抜粋）：

被検面を有する被検基板を浸漬するための液体を、液面を形成するように収納する液だめと、前記被検基板を支持すると共に、前記液面に対して前記被検面が交差する状態で前記液だめ内の前記液体に前記被検基板を浸漬するための支持手段と、前記被検面と前記液面との接触部に生じるメニスカスの状態を代表するパラメータを水平方向に沿って光学的に測定するための測定手段と、前記液体と前記被検基板とを垂直方向に相対的に移動させるための移動手段と、前記パラメータの測定値若しくは前記測定値から算出された変換値の、前記被検面上における面内分布を形成するための分布形成手段と、を具備することを特徴とする表面エネルギー分布測定装置。

IPC (4件)：

G01N 13/02 , H01L 21/66 , H01L 29/786 , G02F 1/13 101

FI (4件)：

G01N 13/02 , H01L 21/66 L , G02F 1/13 101 , H01L 29/78 624

引用特許：

出願人引用 (5件)

特許第2782502号
特開昭63-032357
特許第4943160号

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