特許
J-GLOBAL ID：200903092068342632
基板ウェファー懸架容器、基板ウェファー懸架装置、及び基板ウェファー懸架容器に挿入するためのクッション
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-281521
公開番号（公開出願番号）：特開平6-072482
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウェファー、円板又は基板を貯蔵及び搬送するためのパッケージ乃至容器であって、搬送又は取扱い中の振動や衝撃をある程度吸収出来、しかも外部環境からの汚染を防止出来るたけでなく、パッケージ内側から基板のこすれ等により粒子が発生し同基板を汚染したり、損傷したりするのを防止出来るパッケージを提供する。【構成】 パッケージはカバー(12)、底部材(10)、ウェファー噛合い表面(144,146)を備えた突出部材(135)を有する少なくとも一つのクッション(18,20)、該クッションを固定するための軌道(44,45)又は(78,80)及び前記ウェファーを収納するためのカセット(14)を備えている。
請求項（抜粋）：
複数個の基板ウェファーをシール可能な汚染防止容器内に懸架するための基板ウェファー懸架容器であって、同容器は(a) 第一のベースを備えたカバーにして同ベースはそれから垂直方向に延びる4つの一体壁を含んでいるカバーと、(b) 前記ベースから垂直に延びている4つの一体側面を含んだ第二のベースを備えた底と、(c) ウェファーエッジと係合する表面を有する複数個の突出部材を備えた少なくとも一つのクッションと、(d) 前記クッションを固定するための、前記容器上に配置された手段装置と、(e) 前記基板ウェファーのロット又はグループを収納するための、前記容器上の配置された手段装置。
引用特許：
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