載置台構造及び熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-081949
公開番号（公開出願番号）：特開2008-021963
出願日： 2007年03月27日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：

【課題】発熱板を、発熱板収容容器内へ着脱可能に設けて載置台を構成することにより、発熱板を取り換え、或いは交換可能にした載置台構造を提供する。【解決手段】処理容器4内にて被処理体Wに対して所定の熱処理を施すために前記被処理体を載置する載置台32と、前記載置台を前記処理容器の底部より起立させて支持する筒体状の支柱30とを有する載置台構造29において、前載置台は、電気加熱源よりなる発熱体38を耐熱性材料中に埋め込んでなる発熱板40と、着脱可能になされた蓋部78が設けられると共に、内部に前記発熱板を着脱可能に収容する耐熱耐腐食性材料よりなる発熱板収容容器42とよりなる。これにより、発熱板を取り換え、或いは交換可能とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理容器内にて被処理体に対して所定の熱処理を施すために前記被処理体を載置する載置台と、前記載置台を前記処理容器の底部より起立させて支持する筒体状の支柱とを有する載置台構造において、前載置台は、電気加熱源よりなる発熱体を耐熱性材料中に埋め込んでなる発熱板と、着脱可能になされた蓋部が設けられると共に、内部に前記発熱板を着脱可能に収容する耐熱耐腐食性材料よりなる発熱板収容容器と、よりなることを特徴とする載置台構造。

IPC (6件)：

H01L 21/02 , H01L 21/306 , H01L 21/205 , H01L 21/31 , C23C 16/46 , H01L 21/683

FI (6件)：

H01L21/02 Z , H01L21/302 101B , H01L21/205 , H01L21/31 E , C23C16/46 , H01L21/68 N

Fターム (33件)：

4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030FA03 , 4K030FA10 , 4K030KA23 , 4K030KA39 , 4K030LA15 , 5F004AA16 , 5F004BA09 , 5F004BB13 , 5F004BB18 , 5F004BB22 , 5F004BB26 , 5F004BB28 , 5F004BB29 , 5F004BD04 , 5F004CA06 , 5F031CA02 , 5F031HA16 , 5F031HA33 , 5F031HA37 , 5F031MA28 , 5F031MA30 , 5F031MA32 , 5F045AA08 , 5F045BB20 , 5F045DP03 , 5F045DQ10 , 5F045EF05 , 5F045EH13 , 5F045EH20 , 5F045EK07 , 5F045EM05

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭63-278322号公報
ガス処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-179845 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平03-220718号公報

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審査官引用 (3件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-048541 出願人：東京エレクトロン株式会社
プラズマCVD装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-244843 出願人：松下電器産業株式会社
基板保持構造物および基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-237326 出願人：東京エレクトロン株式会社, 住友電気工業株式会社

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