特許
J-GLOBAL ID：200903092075081585
電子線ホログラフィ実時間位相計測方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
蛭川 昌信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-133870
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323859
出願日： 1992年05月26日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 電子線ホログラムを撮影と同時に実時間で光学的干渉顕微鏡像として再生し、観察対象物の位相分布あるいは強度分布を実時間で観察可能にする。【構成】 電子線参照波と試料2により変調された電子線物体波との干渉縞からなる電子線ホログラムを撮像手段10により撮像し、撮像されたホログラムを空間的な強度変調機能又は空間的な位相変調機能を持つ電気光学的表示素子12に表示させ、この電気光学的表示素子12にコヒーレント光を入射することにより再生された物体波に平面波又は共役物体波を重ねて、実時間で干渉顕微鏡像を形成する。
請求項（抜粋）：
電子線参照波と試料により変調された電子線物体波との干渉縞からなる電子線ホログラムを撮像手段により撮像し、撮像されたホログラムを空間的な強度変調機能又は空間的な位相変調機能を持つ電気光学的表示素子に表示させ、この電気光学的表示素子にコヒーレント光を入射することにより再生された物体波に平面波又は共役物体波を重ねて、実時間で干渉顕微鏡像を形成することを特徴とする電子線ホログラフィ実時間位相計測法。
IPC (3件)：
G03H 5/00
, G02B 27/50
, G02F 1/13 505
