特許
J-GLOBAL ID：200903092078726870
電気絶縁基板上に熱電対列を製造する方法、熱電対列、流量計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤岡 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-200700
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050789
出願日： 2000年07月03日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 電気絶縁基板上に熱電対列を製造する方法を提供する。【解決手段】 電気絶縁基板上に、第1の導電性材料からなる部分のパターンが載置され、第1の導電性材料に第2の導電性材料が付着され、第1の導電性材料のみからなる部分のパターンが載置される。第2の材料は、第1の材料より導電性が良く、熱電対として接続されて、ある一定の熱電圧の発生に寄与できる。第2の材料は、いわゆる「ブラインド・ホール・エッチング」法により第1の材料にストライプをエッチングし、これらストライプに第2の材料を付着させることにより、基板上の第1の材料の層から出発して、第1の材料に付着される。
請求項（抜粋）：
出発点は、第1の導電性材料の層をその上に有する基板であり、該材料に第1の感光ラッカー被膜を付着し、このラッカー被膜をその上に載置したマスクを用いて選択的に除去し、その後、該ラッカー被膜が除去されている個所において、第2の導電性材料を前記第1の材料に付着するが、該第2の材料は、該第1の材料より導電性が良いため、該第1および第2の材料は、熱電対として接続されて、ある一定の熱電圧の発生に寄与し、次いで、該ラッカー被膜の残りの部分は、除去されて、新しい第2のラッカー被膜が膜表面全体にわたって付着され、これは、このラッカー被膜に載置される第2のマスクを用いて、再び同様に選択的に除去され、すなわち、該ラッカー被膜は、該第2の材料上において、かつ、該第2の材料と電気的に非接触となるよう該マスクにより決定された該第1の材料上の決定された個所においては、エッチングされないで残り、その後、ラッカーで被覆されていない該第1の材料は、最終的にエッチング除去され、次いで該ラッカーが除去される電気絶縁基板上に熱電対列を製造する方法において、該第1のラッカー被膜を選択的に除去して後、この除去が行われた個所において、該第1の導電性材料を予め決められた深さまでエッチング除去し、その後でのみ、該第2の導電性材料をこれらの個所にそれぞれ導入することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01F 1/68 104 C
, G01K 7/02 A
