特許
J-GLOBAL ID：200903092080076735
降下塵測定用台座
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-263354
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117973
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】クリーンルーム内での降下塵測定を行う場合に、静電気による塵埃の降下塵測定用ウェハーへの吸着を防ぎ、また設置に必要なスペースの縮小化を図り、測定値の精度向上を図る。【構成】台座本体1に静電気対策を施した材料を使用することによって、静電気による塵埃の降下塵測定用ウェハー3への吸着を防ぐ。また、ウェハー3の大きさに台座本体1の外形を合わせることで設置面積の縮小化を図ると共に、台座本体1の周囲に数個所のウェハー滑り落ち防止用の止め具2を設ける。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハーを載置しクリーンルーム内の降下塵測定に使用する降下塵測定用台座において、前記台座表面を導電性物質で被覆したことを特徴とする降下塵測定用台座。
IPC (2件)：
前のページに戻る
