特許
J-GLOBAL ID：200903092080102957
光学式顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253558
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122646
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 常に観察者の安全を確保できる光学式顕微鏡を提供する。【構成】 直接観察光学系30Aの光軸P3 に対して第1のシャッタ41を、レーザ加工光学系30Bの光軸P4 に対して第2のシャッタ51をそれぞれ設け、第2のシャッタ51がレーザ加工光学系30Bの光路を完全に遮断した状態で第1のシャッタ41を開閉動作させ、かつ、第1のシャッタ41が直接観察光学系の光路を完全に遮断した状態で第2のシャッタ51を開閉動作させるシャッタ連動機構61を設ける。第1のシャッタが開かれているときは、第2のシャッタは常に閉じられているから、観察者の安全を確保できる。
請求項（抜粋）：
検査対象物に光を照射し、その反射光または透過光を接眼レンズを通して観察可能な直接観察光学系と、検査対象物にレーザ光を照射可能なレーザ加工光学系と、前記直接観察光学系の観察光軸に対して直交する方向へ移動可能に設けられた第1のシャッタと、前記レーザ加工光学系のレーザ光照射光軸に対して直交する方向へ移動可能に設けられた第2のシャッタと、前記観察光およびレーザ光のいずれか一方を選択的に遮断するように前記第1のシャッタおよび第2のシャッタを作動させるシャッタ連動機構とを備えた光学式顕微鏡において、前記シャッタ連動機構は、第2のシャッタがレーザ光の光路を完全に遮断した状態で第1のシャッタが開閉動作し、かつ、第1のシャッタが観察光の光路を完全に遮断した状態で第2のシャッタが開閉動作するように構成されていることを特徴とする光学式顕微鏡。
IPC (2件)：
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