特許

J-GLOBAL ID：200903092081779560

防着板およびそれを用いた真空装置

発明者： 原 昌輝
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334222
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157832
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 真空装置の内部を汚さずに容易かつ短時間で超高真空の実現を可能とする防着板およびそれを用いた真空装置を提供する。【解決手段】 真空装置の内壁に防着板1を装着させる。防着板1は防着板本体1aに、温媒4を流すための温媒管2と冷媒5を流すための冷媒管3とを配設して構成されている。真空装置内を真空状態とするガスの吸引において、ガスの吸引開始初期に温媒4を流し防着板本体1aを加熱する。これにより防着板本体1aに付着したガス分子が取り除かれる。また、その後のガスの吸引時に冷媒5を流し防着板本体1aを冷却させる。これにより真空装置内に残存するガス分子が防着板本体1aの表面に捕獲される。

請求項（抜粋）：

真空装置の内壁に対するガス分子の付着を防止するための防着板であって、真空装置の内壁に装着される防着板本体と、前記防着板本体の温度を調節するための温度調節手段とを備えたことを特徴とする防着板。

IPC (6件)：

C23C 14/00 ,  B01J 3/04 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (6件)：

C23C 14/00 B ,  B01J 3/04 A ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/203 M ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 F