絶対位置測長装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-044427
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241115
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】電源投入当初から絶対位置がわかるようにした絶対位置測長装置を提供する。【解決手段】所定間隔で基準長目盛を形成した精密光学格子と該精密光学格子の中の一定間隔毎に前記基準長目盛の複数個毎に形成した絶対位置パターンとを有する移動格子手段と、前記精密光学格子および前記絶対位置パターンを通過してきた光を受光して電気信号に変換する受光素子群を有する受光手段と、前記受光素子群の電気出力信号から周期関数を得て該周期関数から位相位置を演算する相対位置演算手段と、前記受光素子群の電気出力信号によって得られた絶対位置パターンから所定間隔毎の絶対位置を演算する粗絶対位置検出演算手段と、前記相対位置演算手段の出力と前記粗絶対位置検出演算手段の出力から精密絶対位置を演算する精密絶対位置演算手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

発光手段と、該発光手段が発光する光を透過する透過部と遮蔽する遮蔽部によって所定間隔P1で基準長目盛を形成した精密光学格子と該精密光学格子の中の一定間隔毎に該精密光学格子の基準長目盛の複数個毎に前記光を透過する部分と遮蔽する部分によって格子状に形成した絶対位置パターンとを有すると共に前記基準長目盛の方向に移動可能に設けられた移動格子手段と、前記精密光学格子および絶対位置パターンに対向する位置に該精密光学格子の基準長目盛の方向に所定間隔P3(P3<P1)で配列し該精密光学格子および絶対位置パターンを通過してきた光を受光して電気信号に変換するN個の受光素子をS個づつR個の群に分けて(N=S×R)構成すると共に1番からN番までの絶対番地に振り分けた受光手段を有し前記移動格子手段に対向して配置された受光手段と、前記各受光素子の電気出力信号の中の絶対位置パターンの信号を禁止する禁止回路手段と、前記禁止回路手段のR個の群の各n番目毎の受光素子の電気出力信号を加算してS個の加算信号に変換する加算手段と、前記加算手段の出力であるS個の加算信号から周期関数を得て該周期関数から位相位置を演算する相対位置演算手段と、前記受光手段のN個の受光素子の電気出力信号によって得られた絶対位置パターンからパターン位置検出と所定間隔毎の絶対位置を演算する粗絶対位置検出演算手段と、前記相対位置演算手段の出力と前記粗絶対位置検出演算手段の出力から精密絶対位置を演算する精密絶対位置演算手段とを具備することを特徴とする絶対位置測長装置。

Fターム (8件)：

2F065AA02 , 2F065DD00 , 2F065FF16 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL41 , 2F065UU05 , 2F065UU08

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭57-064893
位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-079816 出願人：株式会社セフト研究所
特開昭57-064893

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