特許

J-GLOBAL ID：200903092089178360

電子部品及びその製造方法

発明者： 谷口 浩司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-315698
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169966
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 ITO膜上でのAl膜のパターニングを行うデバイスに対し、通常発生する「電食」の問題を解決する。【構成】 Al膜表面を陽極酸化する。

請求項（抜粋）：

透明導電膜が下層で、アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜が上層として接する構造で、アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜をフォトリソ技術によりパターニングする電子部品において、前記アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜上に、このアルミニウム又はアルミニウム合金膜の酸化膜を形成することを特徴とする電子部品。

IPC (4件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/40 ,  H01L 31/04

FI (3件)：

H01L 29/78 311 A ,  H01L 29/78 311 N ,  H01L 31/04 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-008212