特許
J-GLOBAL ID:200903092094484909
液体吐出ヘッドおよびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
阪本 善朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-349255
公開番号(公開出願番号):特開2006-159410
出願日: 2004年12月02日
公開日(公表日): 2006年06月22日
要約:
【課題】圧電アクチュエータ部の配線接続部における上電極と下電極の高低差を低減し、配線基板との接続不良を防ぐ。【解決手段】流路基板1に形成された圧力発生室2を覆うように配設された振動板4上に、下電極5、圧電層6、上電極7を順次積層して圧電アクチュエータ部8を形成し、上電極7および下電極5を配線接続部9まで引き出して、駆動信号を供給する配線基板に接続する。圧電層6は、その膜厚を漸減しながら下電極5の積層領域を越えて延在する膜厚漸減部6aを有し、上電極7は、膜厚漸減部6aに沿って下電極5と同一平面に引き出される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
吐出口に連通する圧力発生室内の液体を加圧するための、前記圧力発生室側から順次積層された下電極、圧電層および上電極からなる圧電素子を有し、前記圧電層が、その膜厚を漸減しながら前記下電極の積層領域外に延在し、前記上電極を前記下電極と同一平面上に引き出すための膜厚漸減部を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (2件):
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
Fターム (13件):
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AG84
, 2C057AG90
, 2C057AG93
, 2C057AG94
, 2C057AP02
, 2C057AP31
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
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