特許
J-GLOBAL ID：200903092095035733
反射電極およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009324
公開番号（公開出願番号）：特開平11-212106
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 アルミニウムを合金化することにより、反射型液晶表示パネルに用いられる粗面化した反射電極を低温でかつ複雑な工程を経ることなく形成する。【解決手段】 基板1の表面に、水素を含む非晶質シリコン層2およびアルミニウム層3を形成し、不活性雰囲気中で250°C以上に加熱してアルミニウムとシリコンとの合金層4を形成し、この合金層4の結晶および結晶粒界により、反射電極の表面を拡散面とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも表面にシリコンとアルミニウムとの合金を含む反射電極。
IPC (4件)：
G02F 1/1343
, C03C 17/36
, G02F 1/1335 520
, C23C 14/06
G02F 1/1343
, C03C 17/36
, G02F 1/1335 520
, C23C 14/06 E
