半導体力学量センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：碓氷裕彦 , 加藤大登 , 伊藤高順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-287663
公開番号（公開出願番号）：特開2004-004119
出願日： 2003年08月06日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】加速度成分を除去できるとともに精度良くヨーレートを検出する。【解決手段】基板48と、基板の上部において所定間隔を隔てた位置に配置され、基板の表面に平行な所定の振動方向に振動可能な質量部を有して互いに隣接されて配置された2つの梁構造体81、82と、を有し、前記第1の梁構造体と前記第2の梁構造体とが前記所定の振動方向に沿って互いに逆相で振動するよう設定される。梁構造体81、82が所定方向に直線的に振動するので、2つの梁振動体から夫々検出されたヨーレートの差動を検出する際、精度良く加速度成分を除去できる。【選択図】図29

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の上部において所定間隔を隔てた位置に配置され、前記基板の表面に平行な所定の振動方向に振動可能な質量部を有する第1の梁構造体と、前記基板の上部において所定間隔を隔てた位置に、前記第1の梁構造体に隣接して配置され、前記第1の梁構造体の前記振動方向と同一方向に振動可能な質量部を有する第2の梁構造体と、を有し、前記第1の梁構造体と前記第2の梁構造体とが前記所定の振動方向に沿って互いに逆相で振動するよう設定され、前記第1の梁構造体に対し前記所定の振動方向と垂直な方向に作用する力学量及び前記第2の梁構造体に対し前記所定の振動方向と垂直な方向に作用する力学量に基づいて検出すべき力学量を決定することを特徴とする半導体力学量センサ。

IPC (5件)：

G01C19/56 , B81B3/00 , G01P9/04 , G01P15/125 , H01L29/84

FI (5件)：

G01C19/56 , B81B3/00 , G01P9/04 , G01P15/125 Z , H01L29/84 Z

Fターム (33件)：

2F105AA02 , 2F105BB03 , 2F105BB13 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD07 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA26 , 4M112CA31 , 4M112CA33 , 4M112CA35 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA05 , 4M112DA06 , 4M112DA11 , 4M112DA12 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA10 , 4M112EA11 , 4M112FA01 , 4M112FA07 , 4M112FA09 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (5件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-119605 出願人：株式会社村田製作所
特開昭62-093668
特公平6-044008

全件表示

前のページに戻る