半導体露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-268789
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082408
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】レチクルカセット挿入又は交換時に、挿入或いは取り外したレチクルカセットのスロット位置を自動検知し、且つ扉の開閉状態を検知する事により、作業者の作業完了を自動的に判断し、前記レチクルカセット交換後の作業者による情報入力或いは操作を省略することができる半導体露光装置を提供する。【構成】レチクルを収納するカセット2を複数枚収納できるカセット収納棚3と、カセット2上に記録された情報を読み取る手段6と、前記カセット収納棚3へのカセット2の挿入及び取出しを検知するカセット検知手段5と、前記カセット2の挿入及び取出しが行われた収納棚3上の位置を記憶する情報処理手段10を備える。

請求項（抜粋）：

レチクルを収納するカセットを複数枚収納できるカセット収納棚と、カセット上に記録された情報を読み取る手段と、前記カセット収納棚へのカセットの挿入及び取出しを検知するカセット検知手段と、前記カセットの挿入及び取出しが行われた収納棚上の位置を記憶する情報処理手段を備えたことを特徴とする半導体露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 1/14 , G03F 7/20 521 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-273748
特開昭63-022448
特開昭62-102524

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