特許
J-GLOBAL ID：200903092108118676
振動ジャイロ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043526
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239065
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 振動ジャイロの動作中に温度が変化しても、温度変化に起因する支持部に作用する応力状態の変化は相殺され、振動体の駆動方向の振動は一定に保たれ、検出用圧電素子および検出用圧電素子の出力電圧は変化せず、バイアス出力は変化しない精度の高い振動ジャイロを提供する。【解決手段】 半導体基板を異方性エッチング加工して振動体2、フレーム部3および振動体とフレーム部とを連結する支持部4を一体形成したセンサチップを具備する振動ジャイロにおいて、駆動用圧電素子電極7に接続して引き出される駆動配線電極700a、700bおよび検出用圧電素子電極8a、8bに接続して引き出される検出配線電極800a、800bを振動体2に対して対称に設置した振動ジャイロ。
請求項（抜粋）：
半導体基板を異方性エッチング加工して振動体、フレーム部および振動体とフレーム部とを連結する支持部を一体形成したセンサチップを具備する振動ジャイロにおいて、駆動用圧電素子電極に接続して引き出される駆動配線電極および検出用圧電素子電極に接続して引き出される検出配線電極を振動体に対して対称に設置したことを特徴とする振動ジャイロ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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