無機化合物薄膜、磁気記録媒体および磁気記録装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉浦康昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129758
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327491
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】従来技術では、磁気記録媒体の結晶粒子サイズを金属薄膜により分布を抑制したものであるが、その結果として、粒子サイズの分布が熱揺らぎやノイズを低減するには必ずしも十分ではなく、特に、小さな磁性粒子については熱揺らぎが生じ、逆に、大きな粒子については装置として駆動させた場合にノイズの原因になる場合があった。【解決手段】ディスク基板上に、六角形の結晶粒子とその粒子を取り囲むように非晶質物質領域が存在しており、結晶粒子が自己相似図形を形成しており、その図形がフラクタル性を有する無機化合物薄膜を下地膜に用い、その結晶質粒子からCo系磁性膜をエピタキシャル成長させ、下地膜と同じ形状の磁性粒子とすることにより、上記の目的を実現することができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも結晶質部分と該結晶質部分を取り囲むように存在する非晶質領域とからなる無機化合物薄膜において、該無機化合物薄膜の結晶質部分の形状が正六角形で、かつ、該結晶質粒子が基板と平行方向に二次元的に規則的に配列したハニカム構造を有しており、該結晶粒子部分が結晶配向しており、しかも結晶粒子の集合体の構造および組織が幾何学的に自己相似図形の集合体からなる構造を有する材料の薄膜であることを特徴とする無機化合物薄膜。

IPC (5件)：

C30B 29/16 , G11B 5/66 , G11B 5/84 , H01F 10/18 , C23C 14/08

FI (5件)：

C30B 29/16 , G11B 5/66 , G11B 5/84 Z , H01F 10/18 , C23C 14/08 K

Fターム (46件)：

4G077AA03 , 4G077AA07 , 4G077AB05 , 4G077BA01 , 4G077BB03 , 4G077BB05 , 4G077BB10 , 4G077HA12 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA24 , 4K029BA43 , 4K029BA46 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BB08 , 4K029BB10 , 4K029BC06 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 5D006BB01 , 5D006BB02 , 5D006BB07 , 5D006CA03 , 5D006CA05 , 5D006CA06 , 5D006CB04 , 5D006DA03 , 5D006FA01 , 5D006FA09 , 5D112AA03 , 5D112AA05 , 5D112AA24 , 5D112BA03 , 5D112BA06 , 5D112BB05 , 5D112BD03 , 5D112FA04 , 5E049AA04 , 5E049AA09 , 5E049AA10 , 5E049BA06 , 5E049CB01 , 5E049CC01 , 5E049DB04 , 5E049DB12

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