特許
J-GLOBAL ID：200903092127226528
ウエハ研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
遠山 勉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320301
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156712
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ研磨に際してウエハ周辺よりスラリーの供給を均一に行う【解決手段】 ウエハの周辺に配置されウエハの水平方向への脱落を防止するためのリテナーリングをウエハに対して自由回転が可能なようにしたり、あるいはリテナーリングを別の駆動源で回転させるなどウエハとは非連動な回転が可能なようにした。これによりリテナーリングの加工精度にばらつきがあっても回転させることにより加工精度のばらつきが吸収されるため、ウエハに対して均一にスラリーを供給することができる。
請求項（抜粋）：
定盤上に配置された研磨パッドに対してウエハの表面を回転させかつ該表面に研磨材を供給しながら擦接させるウエハ研磨装置であって、前記ウエハと一体に回転するキャリアと、前記ウエハの水平周辺方向への脱落を防止するリテナーリングと、前記リテナーリングを支持するために前記キャリアに固定されるクランプリングとを有しており、前記リテナーリングは、前記ウエハとは非連動な回転が可能なように前記クランプリングに支持されていることを特徴とするウエハ研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
B24B 37/04 E
, H01L 21/304 321 E
