特許
J-GLOBAL ID：200903092127878215
寸法校正試料
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
小川 勝男
, 小川 勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-167667
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031363
出願日： 1994年07月20日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 測長SEMをはじめとする走査形電子顕微鏡の倍率校正あるいは寸法校正において、設置が簡便でかつ高精度の校正が可能な寸法校正試料を提供する。【構成】 微細な校正パターンを有する基板2をパターン方向に対応した基準面3のあるホルダ1に装着した校正試料を用いる。また、(110)Si基板上の回折格子パターンを用いることで、高精度な校正が可能となりまた、縦横方向の校正には、直行した二つの上記基板を用意することで解決できる。【効果】 以上説明したように、本校正試料により、高精度校正が簡便かつ随時行える。校正パターンの回折格子は数ミリメートルの領域で均一であるので、校正パターンの位置はウェーハカセット上の座標指定により、自動で位置ぎめができるので、本校正試料を用いた自動校正も可能である。
請求項（抜粋）：
電子ビームを用いて試料上のパターン寸法を測定する測長装置用の寸法校正試料において、上記測長装置中の上記測定試料とは別な位置に装着した脱着可能な寸法校正試料で、該寸法校正試料がホルダおよび校正パターンを含んだ基板から構成されており、該ホルダ上に該校正パターンの方向を示す基準面或いはマークを設けたことを特徴とした寸法校正試料。
IPC (2件)：
H01J 37/20
, H01J 37/22 502
