特許
J-GLOBAL ID：200903092144570879
高周波誘導結合プラズマ質量分析計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-035949
公開番号（公開出願番号）：特開平5-028960
出願日： 1991年03月01日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】イオンレンズ系の移動機構を単純化すると共にゲ-トバルブ付近でのイオンの発散を防止して検出感度を向上させた高周波誘導結合プラズマ質量分析計を提供する。【構成】高周波誘導結合プラズマ質量分析計において、ゲ-トバルブが動作して非分析時にセンタ-チェンバ-とフォアチェンバ-の連通を遮断するゲ-トと、ゲ-トバルブ内に設けられたイオンレンズを移動させる移動機構を前記ゲ-トと共用すると共に、フォアチェンバ-,ゲ-トバルブ,及びセンタ-チェンバ-の各イオンレンズの間隔を狭く保つようにしたもの。
請求項（抜粋）：
フォアチェンバ-とセンタ-チェンバ-の間にこれらチェンバ-間の連通を断続するゲ-トバルブが設けられた高周波誘導結合プラズマ質量分析計おいて、前記ゲ-トバルブが動作して非分析時にセンタ-チェンバ-とフォアチェンバ-の連通を遮断するゲ-トと、該ゲ-トを分析計の上下方向に移動させるゲ-ト移動装置と、前記ゲ-トバルブ内を気密構造に保つための第1のシ-ルと、前記ゲ-トでゲ-ト開口部を気密構造に保つための第2のシ-ルと、前記ゲ-トバルブ内に設けられたイオンレンズと、前記ゲ-トとイオンレンズを電気的に絶縁し機械的に結合させるア-ムと、前記イオンレンズに電圧を印加をする可変電圧電源とを具備し、前記イオンレンズを移動させる移動機構を前記ゲ-トと共用すると共に前記フォアチェンバ-,ゲ-トバルブ,及びセンタ-チェンバ-の各イオンレンズの間隔を狭く保つ構成にしたことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析計。
IPC (3件)：
H01J 49/26
, H01J 49/06
, G01N 27/62
