特許
J-GLOBAL ID：200903092148872934
テーブル移動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 小平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-017916
公開番号（公開出願番号）：特開平5-219786
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 本体ベースに沿って走行自在としたテーブル側に走行駆動のための給電線および位置決めのための信号線等を不要としてリードレス化を図るとともに、パワーセレクトにより電力消費の低減を図ったリニヤACサーボモータ駆動方式のテーブル移動装置を提供することにある。【構成】 本体ベース側に多数組のコイルセットからなる固定子を設け、テーブル側に複数個のマグネットからなる可動子を設け、テーブルの走行および位置決め制御部にテーブル現在位置近傍のコイルセットのみを励磁するパワーセレクト回路と、スケール読取り情報を無線受信し、該情報に基づいてテーブルの停止位置を位置決めする位置決め制御回路を備えるものとした。【効果】 テーブル側に走行駆動のための給電線および位置決めのための信号線等が不要となり、走行距離に制限がなく走行駆動のための電力消費が低減され高速かつ高精度のテーブル走行および位置決め制御が可能になった。
請求項（抜粋）：
U相、V相およびW相のコイルをもって1組とするコイルセットの多数組を長手方向に配列して構成された固定子を設けてなる長尺の本体ベースと、該本体ベースに走行自在に支持されるとともに、上記固定子に対向して配列された複数個のマグネットからなる可動子を設けてなるテーブルと、上記固定子と可動子とにより構成されるモータをリニヤACサーボモータ駆動方式にて制御することにより上記テーブルの走行および位置決めを行うための制御部と、を備えたテーブル移動装置において、上記本体ベースには、その全長にわたって延びるリニヤスケールを設けるとともに、その固定子の1組のコイルセット毎にテーブル側の可動子が複数組のコイルセットのいずれのコイルセットに対向しているかを検出するためのテーブル現在位置検出手段を設け、上記テーブルには、上記リニヤスケールを読取るためのスケール読取りヘッドを設けるとともに、該スケール読取りヘッドの読取り情報を送信する無線送信手段を設け、さらに、上記制御部には、上記テーブルの走行中に、上記テーブル現在位置検出手段による検出信号に基づいて、該テーブルを走行させるために必要とするテーブル現在位置近傍のコイルセットのみを励磁するパワーセレクト回路と、上記スケール読取りヘッドの読取り情報を無線受信手段により受信し、該読取り情報に基づいてテーブルの停止位置を位置決めする位置決め制御回路と、を備えたことを特徴とするテーブル移動装置。
IPC (4件)：
H02P 7/00 101
, G01D 5/245 101
, G01D 5/245
, H02K 41/03
