特許
J-GLOBAL ID：200903092150819340
露光装置、露光装置システム、半導体製造装置、半導体製造システム、およびデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-099977
公開番号（公開出願番号）：特開平11-282655
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 プログラムの実行中においてもプログラムのバージョンアップが行えるようにする。【解決手段】 プログラムを記憶手段104よりロードして実行することにより装置を制御する制御手段を備えた露光装置において、前記プログラムの実行の継続中に、前記記憶手段に記憶されているプログラムを更新するバージョンアップ手段を備える。更新されたプログラムはリブートにより有効化される。あるいは前記プログラムの実行の継続中に、リブートを行うことなく、ロードされているプログラムを新プログラムヘ切り換えるバージョンアップ手段を備える。
請求項（抜粋）：
プログラムを記憶手段よりロードして実行することにより装置を制御する制御手段を備えた露光装置において、前記プログラムの実行の継続中に、前記記憶手段に記憶されているプログラムを更新するバージョンアップ手段を具備することを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
G06F 9/06 410
, G06F 9/06 540
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G06F 9/06 410 P
, G06F 9/06 540 F
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 502 G
