特許

J-GLOBAL ID：200903092152219315

金属材料中の非金属介在物検査方法および装置

発明者： 遠藤 睦季 ,  和島 正己 ,  西村 武博
出願人/特許権者： ニッテツ北海道制御システム株式会社
代理人 (1件)： 田村 弘明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-078418
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274650
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】 鋼材など金属材料中の非金属介在物を自動検査するための方法および装置であって、処理時間短縮と正認識率向上により、従来の人手による検査に置換え可能とする。【解決手段】 焦点合せ、粗検査、精密検査を行い、焦点合せでは試料面のX方向傾斜およびY方向傾斜から被検査範囲各視野の焦点位置を演算し、粗検査では被検査範囲の全視野スキャニングを行い、CCDカメラによる顕微鏡像の撮像結果を画像処理して異物の有無を判定し、精密検査では異物有りと判定した視野のみ選択スキャニングを行い、画像処理により、形状パラメータ、赤緑青3原色のヒストグラムからなる色パラメータ、ヒストグラムの分散度およびパターン合致度をパラメータとするニューロ・ファジー推論を行い、異物が非金属介在物であるか否か、非金属介在物である場合はその種類を判別する。

請求項（抜粋）：

金属材料の鏡面研磨した試料面を金属顕微鏡により観察して非金属介在物を自動検査する方法であって、焦点合せ、粗検査および精密検査を行い、焦点合せにおいては、試料面内のX方向およびY方向と高さ方向のZ方向にそれぞれ位置調整可能な試料ステージに被検査試料を固定し、試料面のX方向傾斜およびY方向傾斜を求め、該各傾斜から被検査範囲各視野の焦点位置を演算し、粗検査においては、被検査範囲の全視野について、前記演算結果の焦点位置に合せつつ、試料ステージの全視野スキャニングを行い、CCDカメラによる顕微鏡像の撮像結果を画像処理して異物の有無を判定し、精密検査においては、前記粗検査で異物有りと判定した各視野について選択スキャニングを行い、画像処理により、異物の円形度、複雑度およびアスペクト比からなる形状パラメータ、赤緑青3原色のヒストグラムからなる色パラメータ、該ヒストグラムの分散度およびパターン合致度をパラメータとするニューロ・ファジー推論を行い、前記異物が非金属介在物であるか否か、非金属介在物である場合はその種類を判別し、必要データを出力することを特徴とする金属材料中の非金属介在物検査方法。

IPC (3件)：

G01N 33/20 ,  G01N 21/17 ,  G02B 21/26

FI (3件)：

G01N 33/20 J ,  G01N 21/17 A ,  G02B 21/26