特許
J-GLOBAL ID：200903092160576348
透明基板の検査方法および透明基板の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-352676
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081312
出願日： 1998年12月11日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 画像処理でコンベックス加工の仕上り状態を迅速かつ全数検査できるようにする。【解決手段】 コンベックス加工された水晶ブランク1に単色光源26からの光をポラライザ21により偏光にして与え、水晶ブランク1を通過した光からアナライザ22により前記偏光に対し所定の角度をなす偏光状態の光を通過させて、偏光干渉により水晶ブランク1の厚さの違いによる位相差を可視化して撮像する。撮像された水晶ブランク1のブランク面の画像には、リング状の干渉縞が顕れて加工仕上り具合が判別できるようになる。画像処理装置14では、さらに2値化して干渉縞のコントラストを増強処理する。2値化データは統計処理してコンベックス加工評価の標準化やGO/NO GO の検査に資する。
請求項（抜粋）：
加工により同一断面で異なる厚さをもたせた複屈折媒質からなる透明基板に光源からの光をポラライザにより偏光にして与え、前記透明基板を通過した光からアナライザにより前記偏光に対し所定の角度をなす偏光状態の光を通過させて、偏光干渉により前記透明基板の厚さの違いによる位相差を可視化して、前記透明基板の加工仕上りの検査を行うようにした透明基板の検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/06
, G01N 21/21
, G01N 21/41
, G01N 21/88
G01B 11/06 G
, G01N 21/21 Z
, G01N 21/41 Z
, G01N 21/88 H
, G01N 21/88 650
