特許

J-GLOBAL ID：200903092164280737

ペリクル

発明者： 樫田 周
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-035536
公開番号（公開出願番号）：特開平9-206723
出願日： 1996年01月30日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【解決手段】 ペリクル枠の一端面にペリクル膜が張設されていると共に、ペリクル枠の他端面にレチクル貼着用粘着剤層が形成されたペリクルにおいて、上記ペリクル枠の他端面に溝状凹部を形成すると共に、この溝状凹部内に加熱及び/又は光照射により発泡可能な粘着剤層をペリクル枠他端面より外方にはみ出さず、かつ加熱及び/又は光照射により発泡してペリクル枠他端面より外方に膨出するように設けてなることを特徴とする上記粘着剤層にライナーを貼付していないペリクル。【効果】 本発明によれば、ライナーを使用しないので、ライナーからの異物の発生がなく、この点からのペリクル膜の異物による性能の低下が防止され、かつライナーの使用に伴う工程、費用を省くことができる。

請求項（抜粋）：

ペリクル枠の一端面にペリクル膜が張設されていると共に、ペリクル枠の他端面にレチクル貼着用粘着剤層が形成されたペリクルにおいて、上記ペリクル枠の他端面に溝状凹部を形成すると共に、この溝状凹部内に加熱及び/又は光照射により発泡可能な粘着剤層をペリクル枠他端面より外方にはみ出さず、かつ加熱及び/又は光照射により発泡してペリクル枠他端面より外方に膨出するように設けてなることを特徴とする上記粘着剤層にライナーを貼付していないペリクル。

IPC (3件)：

B08B 17/00 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B08B 17/00 ,  G03F 1/14 J ,  H01L 21/30 502 P