特許
J-GLOBAL ID：200903092165107141
欠陥検出方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐藤 正美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-189274
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180809
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 平均厚さの異なる部分を有する被測定物の、いずれの厚さ部分に欠陥が生じているかを容易に検出する。【構成】 平均厚さが異なる部分を有する被測定物に振動を加える。その振動をピックアップしてスペクトル分析し、平均厚さに応じてそれぞれ異なる周波数位置fA 及びfB に立つスペクトル11及び12を検出する。各平均厚さに対応したスペクトル11及び12が2つに別れることを検出することにより、各平均厚さの部分の欠陥の欠陥の有無を検出する。
請求項（抜粋）：
平均厚さが異なる部分を有する被測定物に振動を加え、その振動をピックアップしてスペクトル分析し、前記平均厚さに応じてそれぞれ異なる周波数位置に立つスペクトルを検出し、前記各平均厚さに対応したスペクトルが2つに別れることを検出することにより、その平均厚さの部分の欠陥を検出するようにした欠陥検出方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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