特許
J-GLOBAL ID：200903092170173020

金属ガラスを用いたマイクロマシン及びそれを用いたセンサ並びにその製造方法

発明者：
井上 明久

井上 明久 について

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シャルマ パルマナンド

シャルマ パルマナンド について

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木村 久道

木村 久道 について

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早乙女 康典

早乙女 康典 について


出願人/特許権者：
独立行政法人科学技術振興機構

独立行政法人科学技術振興機構 について


代理人 (2件)： 平山 一幸 ,  篠田 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-348598
公開番号（公開出願番号）：特開2008-155333
出願日： 2006年12月25日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】金属ガラス薄膜を構成要素とする、新規なマイクロマシン及びそれを用いたセンサ並びにマイクロマシンの製造方法を提供する。【解決手段】マイクロマシン1は、基板2と基板2に配置される金属ガラス薄膜3とを備えている。金属ガラス薄膜3は、基板の開口部2A上に配置してもよいし、金属ガラス薄膜3は基板に配置されているカンチレバーであってもよい。好ましくは、基板2はSiからなり、金属ガラス薄膜3は、Zr-Al-Cu-Ni系又はPt-Pt-B-Zr系の材料からなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と該基板に配置される金属ガラス薄膜とを備えたことを特徴とする、マイクロマシン。
IPC (5件)：
B81B 3/00 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  G01L 9/08
FI (6件)：
B81B3/00 ,  H01L29/84 B ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  G01L9/08
Fターム (32件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE23 ,  2F055FF07 ,  2F055GG11 ,  2F055GG49 ,  3C081AA13 ,  3C081BA43 ,  3C081BA45 ,  3C081BA77 ,  3C081CA03 ,  3C081CA13 ,  3C081CA23 ,  3C081CA28 ,  3C081DA03 ,  3C081DA11 ,  3C081EA01 ,  3C081EA03 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA08 ,  4M112DA02 ,  4M112DA04 ,  4M112DA09 ,  4M112EA03 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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