特許
J-GLOBAL ID：200903092171723903
噴流めっき装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲柳▼川 信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-276105
公開番号（公開出願番号）：特開平7-109599
出願日： 1993年10月06日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 膜圧の均一なめっきを得ることのできる噴流めっき装置を構成する。【構成】 アノード片を収容する5個のアノードボックス2を設ける。これらアノードボックスに対応して設けられ対応ボックス2内のアノード片に対して電気分解用の電力を供給する5個のめっき電源1,基板9に対してめっき液4を噴出するための5個のノズル、これらノズルに対応して設けられ対応ノズルに対しアノードボックス2を介してめっき液4を供給する5個の循環ポンプを夫々設ける。電源1による供給電力及び循環ポンプ1によるめっき液4の供給量を、基板9の形状、大きさ、配線パターン等に応じて夫々独立に制御することにより、基板表面の電流分布を制御でき、膜圧の均一なめっきが得られる。
請求項（抜粋）：
アノード片を収容するN個(Nは2以上の整数、以下同じ)のアノードボックスと、このN個のアノードボックスに対応して設けられ対応ボックス内のアノード片に対して電気分解用の電力を供給するN個の電源と、被めっき物に対してめっき液を噴出するためのN個のノズルと、このN個のノズルに対応して設けられ対応ノズルに対し前記アノードボックスを介して前記めっき液を供給するN個のポンプとを有することを特徴とする噴流めっき装置。
IPC (2件)：
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