特許
J-GLOBAL ID：200903092189568042
被覆部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-324170
公開番号（公開出願番号）：特開平7-180057
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月18日
要約：
【要約】【構成】所定の基体表面に炭化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、硼化チタンなどのセラミック膜を被覆してなる被覆部材において、セラミック膜がX線回折に基づく結晶配向膜からなるとともに、結晶の成長方向の基体表面に垂直な方向に対する最大傾きが30度以下であり、研磨加工によりその表面粗さ(Rmax)が100Å以下の被覆部材を得る。【効果】超平滑面が再現性良く安定して製造することができる。
請求項（抜粋）：
所定の基体表面にセラミック膜を被覆してなる被覆部材において、前記セラミック膜がX線回折に基づく結晶配向膜からなるとともに、該結晶の成長方向の前記基体表面に垂直な方向に対する最大傾きが30度以下であることを特徴とする被覆部材。
IPC (3件)：
C23C 16/30
, C23C 14/06
, C30B 25/02
