特許
J-GLOBAL ID：200903092194022708
位置合わせ方法、該方法による投影露光装置および位置ズレ計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-233059
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094315
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 製造コストの上昇を招来することなく、測定精度を向上することのできる位置合わせ方法を実現すること。【構成】 所定の物体に設けられた位置合わせマークを二次元的に検出してテンプレートマッチングを行い、該所定の物体の位置を確認する位置合わせ方法であって、位置合わせマークに対応したテンプレートで第1の相関演算を行って第1の相関結果を算出し、デジタル信号の相関演算を行う範囲の内の右半分あるいは左半分を1ポイントシフトさせてテンプレートで第2の相関演算を行って第2の相関結果を算出し、第1の相関結果と第2の相関結果を交互に合成して第3の相関結果を作成し、該第3の相関結果から位置合わせマークの中心を算出する。
請求項（抜粋）：
所定の物体に設けられた位置合わせマークを二次元的に検出してテンプレートマッチングを行い、該所定の物体の位置を確認する位置合わせ方法であって、前記位置合わせマークに対応したテンプレートで第1の相関演算を行って第1の相関結果を算出し、前記デジタル信号の相関演算を行う範囲の内の右半分あるいは左半分を1ポイントシフトさせて前記テンプレートで第2の相関演算を行って第2の相関結果を算出し、前記第1の相関結果と第2の相関結果を交互に合成して第3の相関結果を作成し、該第3の相関結果から位置合わせマークの中心を算出することを特徴とする位置合わせマーク検出方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G03F 9/00
, H01L 21/027
