特許
J-GLOBAL ID：200903092196978485
異物検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-032276
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218498
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 超LSIの製造上問題となるような微細な異物を検出し、さらにその種類を迅速に識別することができる異物検査方法を提供する。【解決手段】 レーザ光源5からの細いレーザ光は、回転楕円鏡7に開けられた孔7aを通して回転楕円鏡7内に入り、異物13により散乱され、回転楕円鏡7によって反射され、回転楕円鏡7の焦点に置かれた散乱光検出器8に集光される。これにより異物の位置が検出される。制御部4は、試料走査機構3を駆動して、異物探査部2を異物の検出された位置に移動する。異物検査部2は、走査型プローブ顕微鏡からなり、カンチレバー10の先端の探針10aを異物に押し当ててフォースカーブを測定する。そして、測定されたフォースカーブから、異物の種類の同定や推定を行う。
請求項（抜粋）：
レーザ光を試料面に照射し、その反射光を測定することにより異物の存在と位置を確認し、異物の存在位置に走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを移動させ、異物とカンチレバーとの間のフォースカーブを求めることにより、異物を検査することを特徴とする異物検査方法。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 21/30
, G01N 37/00
, G03F 1/08
, H01L 21/66
G01N 21/88 E
, G01B 21/30 Z
, G01N 37/00 F
, G03F 1/08 S
, H01L 21/66 J
