特許
J-GLOBAL ID:200903092198258218

粘接着テープ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 飯田 敏三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-059734
公開番号(公開出願番号):特開2005-033170
出願日: 2004年03月03日
公開日(公表日): 2005年02月03日
要約:
【課題】 ダイシング時にウェハの固定用として繰り返し用いられるダイシングフレームへの粘接着剤層の転着を防止し、低コストで製造できる粘接着テープを提供する。【解決手段】 基材フィルムと粘接着剤層の間に、放射線照射処理もしくは熱処理によりそれ自体の粘接着力が変化する中間樹脂層を有し、粘接着剤層に被着体が貼着される粘接着テープであって、中間樹脂層-粘接着剤層間の剥離力をA、被着体-粘接着剤層間の剥離力をBとするとき、前記処理前はB>Aであり、前記処理後はA>Bであることを特徴とする粘接着テープ。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
基材フィルムと粘接着剤層の間に、放射線照射処理もしくは熱処理によりそれ自体の粘接着力が変化する中間樹脂層を有し、粘接着剤層に被着体が貼着される粘接着テープであって、中間樹脂層-粘接着剤層間の剥離力をA、被着体-粘接着剤層間の剥離力をBとするとき、前記処理前はB>Aであり、前記処理後はA>Bであることを特徴とする粘接着テープ。
IPC (2件):
H01L21/301 ,  C09J7/02
FI (2件):
H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z
Fターム (11件):
4J004AA10 ,  4J004AA17 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CC02 ,  4J004CC03 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08
引用特許:
出願人引用 (2件)

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