電極成膜装置用モニター

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-085685
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250918
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】モニター水晶の振動周波数から膜厚換算の容易な成膜管理を可能とする。【解決手段】真空槽内で電極を成膜する装置のモニターを水晶片の形状、大きさ及び励振電極の形状、寸法に関係なくモニター水晶として使用できる電極成膜装置用モニターとする。

請求項（抜粋）：

電極成膜装置に使用され、モニター用振動片に成膜された電極によるプレートバック量により電極成膜量を制御するための電極成膜装置用モニターにおいて、両面に励振電極を設けたモニター用振動片の励振電極の夫々に電気的接続をする手段が、振動片の振動に影響を与えない微圧接触可能な接触構造であることを特徴とする電極成膜装置用モニター。

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