特許
J-GLOBAL ID：200903092212301580
電子線照射装置用制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-333884
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107398
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 運転中に加速電圧を変更する場合に、運転を停止させることなく、加速電圧を正確に変更させることを目的とする。【構成】 同一の走査幅について各加速電圧に対する走査電流を記憶しておき、加速電圧が設定変更されたとき、高圧電源からの出力に基づく走査電流を、記憶値から呼び出す。呼び出された値に基づいて走査電流を制御し、高圧電源の出力が設定加速電圧に到達したとき、走査電流の制御を停止する。
請求項（抜粋）：
フィラメントから放射される電子を、高圧電源から与えられる加速電圧が加速電圧として供給される加速管によって加速し、走査管によって走査して被照射体に照射する電子線照射装置において、予め同じ走査幅を維持するのに必要な走査電流を各加速電圧毎に記憶している記憶手段、前記加速電圧の変更が指示されたとき、前記高圧電源の出力を徐々に設定加速電圧に近付けるように制御する手段、設定されている走査幅にしたがう走査電流を前記高圧電源からの出力に基づいて前記記憶手段から呼び出し、呼び出された走査電流になるように走査コイル電源を制御する手段、前記高圧電源による加速電圧が設定加速電圧に到達したとき、前記走査電流の制御を停止する手段を備えた電子線照射装置用制御装置。
IPC (4件)：
G21K 5/04
, H01J 37/147
, H01J 37/30
, H05H 7/00
