特許

J-GLOBAL ID：200903092224916253

ダイシング装置用接着シート及びダイシング方法

発明者： 大房 宏
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096348
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307313
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 加工途中でのドレッシング動作に要する時間の短縮及びダミー部材のコスト削減を目的とする。【構成】 一方の表面に接着手段を有し、ダイシング装置で被加工物1に溝加工する時に、被加工物1を前記接着手段で保持するダイシング装置用接着シート2であって、当該シート2内に、ダイシング装置の砥石刃11の目立てを行うためのドレス材を有する。

請求項（抜粋）：

一方の表面に接着手段を有し、ダイシング装置で被加工物(1)に溝加工する時に、前記被加工物(1)を前記接着手段で保持するダイシング装置用接着シート(2)であって、当該シート(2)内に、前記ダイシング装置の砥石刃(11)の目立てを行うためのドレス材を有することを特徴とするダイシング装置用接着シート。

FI (3件)：

H01L 21/78 M ,  H01L 21/78 N ,  H01L 21/78 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-205382
  
• 特開昭63-205383
  
• 特開昭62-119006
  
• 特開平2-147305